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一、题文

电子束加工和离子束加工在原理上和在应用范围上有何异同?

二、解答

答:二者在原理上的相同点是基于带电粒子于真空中在电磁场的加速、 控制作用下,对工件进行撞击而进行加工。其不同处在于电子束加工加速转换成电 能,在撞击工件时动能转换成热能使金属熔化、气化而被蚀除。而离子束加工是 电能使质量较大的正离子加速后,打到工件表面,是靠机械撞击能量使工件表面 的原子层变形、破坏或切除分离,并不发热。在工艺上:有离子刻蚀、渐射沉积、 离子镀、离子注入(表面改性)等多种形式,而不象电子束加工,有打孔、切割、 焊接、热处理等形式。

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